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特种气体包括哪些种类?恩施信安达特种气体生产厂家为你介绍

所属分类:常见问答    发布时间: 2022-06-20    作者:湖北信安达工业气体有限公司

特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,随着国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测(特别是微电子技术)的发展,恩施信安达生产的特种气体成为工业气体市场规模增长新动力,广泛应用于半导体、LED、光纤光缆、医药等新兴行业。




  特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。同时,以上分类存在交叉,例如四氯化硅(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。




  特种气体主要包括电子气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等,其中,电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程,主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等,是下游行业关键性化工基础材料,被誉为电子产业的“粮食”和“源”,现有单元特种气体260余种,可配制成25000多种混合气体。


特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。可以根据客户的不同需求和产品的不同特性,采取不同的工序进行组合。